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多線切割技術(shù)(MWS: Multi-Wire-Slicen)是進(jìn)行脆硬材料(如硅錠等)切割的一種創(chuàng)新性工藝。在該工藝中,切割線被纏繞在一個(gè)導(dǎo)向軸上,可以同時(shí)進(jìn)行幾百個(gè)切割,獲得幾百個(gè)切片。
MWS工藝可進(jìn)一步分為兩個(gè)過(guò)程分支,一方面是傳統(tǒng)的、已被廣泛使用的切割拋光工藝,另一個(gè)是新的切割磨削工藝。在切割拋光工藝中使用的是沒(méi)有涂層的切割線,在切割過(guò)程中,切割線涂上拋光液。切割磨削工藝使用的是附有金剛砂涂層的切割線以切削的方式進(jìn)行,可獲得好的分割作用,大大提高生產(chǎn)效率。
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